Polo di Lecce – BEYOND NANO

Obiettivi generali: Il Polo di Lecce, realizzato su una superficie di 2500 m² all’interno del nuovo Polo di Nanotecnologia del CNR presso il campus Universitario di Lecce, costituisce una facility dedicata allo studio di materiali e processi di nano–fabbricazione innovativi per applicazioni sia nel campo Energetico che di Sicurezza. Il Polo, dotato di clean–rooms con una superficie complessiva di circa 1.000 m² (con sezioni in classe 100, 1.000 e 10.000), realizza servizi rivolti al cutting edge della ricerca sui materiali grazie all’utilizzo di strumentazioni avanzate e stato dell’arte e allo sviluppo di sofisticate metodologie di processo top–down e bottom–up fondamentali per la realizzazione di nano–microdispositivi innovativi.

Obiettivi specifici: Il Polo di Lecce è costituito da tre laboratori:

Laboratorio Materiali (LaM), dedicato allo studio e realizzazione di materiali e nanostrutture a semiconduttore, dielettrici e grafene mediante uso di tecniche Metallo-Organic Chemical Vapour Deposition (MOCVD) di ultima generazione, integrato con un sistema Chemical Vapour Deposition (CVD), per deposizione su wafer da 1 e 2 pollici, in grado di operare in modalità termica e da plasma equipaggiato con riscaldatore fino a 1000°C e dedicato alla sintesi di nanomateriali basati su carbonio, principalmente grafene;
Laboratorio di nano fabbricazione (LaN), costituito da: linea di nanofabbricazione mediante Focused Ion Beam (FIB), linea di litografia a fascio elettronico (EBL), sistema di litografia laser ad alta risoluzione (Mask Generator) e completato da un nuovo sistema avanzato per etching del tipo Inductive Coupled Plasma Reactive Ion Etching (ICP–RIE) a base Cl;
Laboratorio Caratterizzazione, la cui apparecchiatura di punta consiste in un apparato Broad Band Microscopy and Manipulation (BAMM) costituito da tre blocchi: un primo blocco con delle sorgenti laser di eccitazione che vanno dal continuo al femtosecondo, un blocco che racchiude i sistemi di microscopia ottica che permette risoluzioni fino ai 150 nm ed, infine, un terzo blocco costituito dai rivelatori ultraveloci e ultrasensibili.

Per garantire la massima efficienza dei laboratori del polo di Lecce, vi è una clean–rooms, con sezioni in classe 100, 1.000 e 10.000, e dotate di tutti gli impianti e arredi tecnici necessarie alla funzionalità dei tre laboratori laboratori.

Risultati: Il Polo è in fase operativa. E stato creato un consiglio scientifico consultivo per la valutazione delle proposte scientifiche che richiedono l’accesso ai laboratori. Sono state avviate interazioni con il tessuto economico-produttivo Regionale e Nazionale. Infatti, il Polo di Lecce ha già ottenuto un primo finanziamento regionale a valere sul Bando “Cluster Tecnologici Nazionali” con la proposta progettuale NanoApulia – NANOfotocatalizzatori per un’Atmosfera più PULItA che vede tra i partners industriali la partecipazione di due grandi imprese Nazionali (Italcementi e Bosch) e di tre piccole imprese locali (TCT, SIPRE e Echolight). Il Polo ha inoltre avviato collaborazioni con:

Per quanto riguardo la nuova progettualità il Polo ha presentato n. 20 domande a call H2020. Ad oggi sono stati realizzati con la strumentazione n. 20 lavori scientifici di alto impatto scientifico.